杭州玉之泉精密仪器有限公司近日推出全球首台万通道3D纳米激光直写光刻机。该设备突破传统单束激光逐点刻写的模式,以万支笔同时作业,速度提升数千倍,为超表面、可控核聚变等前沿领域的精密器件量产提供了新的可能。
这家浙大系企业的技术版图覆盖多条光刻路线:双光子光刻已处于全球领先,紫外光刻正加速追赶,预计三至五年内实现并跑乃至超越;光栅光刻、波导光刻和生物光刻则分别瞄准极端环境感应、光芯片制造与生命科学等细分赛道。在消费电子领域,其无掩膜灰度光刻技术可在整片晶圆上一次性刻出纳米级精度的微透镜母版,经舜宇光学等企业压印复制后,广泛应用于手机镜头、车载摄像头及AR眼镜。
公司创始人张舟洋拥有浙大金融硕士学位,职业经历跨越警务、证券与国企管理。他将创业成功归因于浙大赋予的跨界学习能力,以及在决策中坚持独立意志。三位浙大教授负责技术,张舟洋主导运营,双方形成企业盈利反哺科研、科研成果增强企业壁垒的良性循环。张舟洋坦言紫外光刻与国外尚有差距,但目标明确:三年内建立全球影响力,打造一家能长期存续的高端仪器企业。
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