上海爱晟纳电子科技有限公司目前正牵头推进中国本土浸没式深紫外(DUV)光刻机的制造工作。据相关报道披露,这家企业已整合了来自宇量昇及上海微电子装备的技术团队,旨在提升国产半导体设备的能力。其中,宇量昇在去年便已启动了对DUV原型机的测试环节。
尽管爱晟纳在产业链中扮演着关键角色,但外界评估指出,其研发的DUV光刻机尚需经历更多的验证阶段。有消息显示,该设备在性能指标上与国际巨头ASML的同类型产品相比,仍存在显著的技术落差。这意味着国产替代之路虽已起步,但距离完全对标国际顶尖水平仍有较长的路要走。
此次重组团队并主导生产,显示出国内在突破半导体核心装备瓶颈方面的持续投入。爱晟纳通过吸纳初创公司成熟团队,试图加速技术迭代,以应对当前复杂的全球半导体供应格局。然而,从原型机测试到成熟量产,中间的技术攻关与工艺优化仍是巨大挑战。
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